Straturi subțiri semiconductoare preparate în sisteme de pulverizare cu magnetron (DC): teorie vs experiment (I) [Articol]
| dc.contributor.author | Narolschi, Igor | |
| dc.contributor.author | Cliucanov, Alexandr | |
| dc.contributor.author | Rotaru, Corneliu | |
| dc.contributor.author | Rusu, Marin | |
| dc.contributor.author | Vatavu, Sergiu | |
| dc.date.accessioned | 2021-02-16T09:20:01Z | |
| dc.date.available | 2021-02-16T09:20:01Z | |
| dc.date.issued | 2020 | |
| dc.description.abstract | Caracteristica curent-tensiune a sistemului de pulverizare cu magnetron(DC) depinde în formă pătratică de trei parametri,unul dintre care este egal cu potențialul de aprindere a descărcării gazului, pe când ceilalți doi parametri se determină experimental din caracteristica curent-tensiune pentru valori mici sau mari ale tensiunii aplicate sistemului. | en |
| dc.description.abstract | The current-voltage dependencies of a DC magnetron system depend, as a square function, on three parameters, one of those being equal to the ignition potential in gas discharge, while the other two are being determined experimentally by use of experimental curves for low/high applied voltages. | |
| dc.identifier.citation | NAROLSCHI, Igor, CLIUCANOV, Alexandr, ROTARU, Corneliu et al. Straturi subțirisemiconductoare preparate în sisteme de pulverizare cu magnetron (DC): teorie vs experiment (I). In: Studia Universitatis Moldaviae. Seria Științe exacte și economice: Matematică. Informatică. Fizică. Economie. Revistă științifică. 2020, nr.7 (137), pp. 14 - 18. ISSN 1857-2073. | en |
| dc.identifier.issn | 1857-2073 | |
| dc.identifier.uri | http://studiamsu.eu/nr-7-137/ | |
| dc.identifier.uri | http://doi.org/10.5281/zenodo.4457422 | |
| dc.identifier.uri | https://orcid.org/0000-0001-7328-126X | |
| dc.identifier.uri | https://msuir.usm.md/handle/123456789/3787 | |
| dc.identifier.uri | ||
| dc.identifier.uri | ||
| dc.language.iso | ro | en |
| dc.publisher | CEP USM | en |
| dc.subject | sistem de pulverizare cu magnetron | en |
| dc.subject | semiconductoare | en |
| dc.subject | magnetron sputtering system | en |
| dc.subject | current vs voltage dependence | en |
| dc.subject | gas discharge | en |
| dc.title | Straturi subțiri semiconductoare preparate în sisteme de pulverizare cu magnetron (DC): teorie vs experiment (I) [Articol] | en |
| dc.title.alternative | SEMICONDUCTOR THIN FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERTING (DC): THEORY vs EXPERIMENT (I) | en |
| dc.type | Article | en |