OBŢINEREA STRATURILOR SUBŢIRI DE ZnO CU CONDUCTIBILITATE ÎNALTĂ PRIN PULVERIZARE MAGNETRON A ŢINTELOR PREPARATE ÎN VAPORI HALOGENICI

Rusnac, DumitruFedorov VladimirColibaba, Gleb2023-01-112023-01-112020RUSNAC, Dumitru; FEDOROV, Vladimir; COLIBABA, Gleb. Obţinerea straturilor subţiri de ZnO cu conductibilitate înaltă prin pulverizare magnetron a ţintelor preparate în vapori halogenici. In: Integrare prin cercetare și inovare.Ştiinţe ale naturii și exacte. 10-11 noiembrie 2020, Chișinău. Chisinau, Republica Moldova: CEP USM, 2020, pp. 284-287. ISBN 978-9975-152-50-1978-9975-152-50-1https://msuir.usm.md/handle/123456789/8199roOBŢINEREA STRATURILOR SUBŢIRI DE ZnO CU CONDUCTIBILITATE ÎNALTĂ PRIN PULVERIZARE MAGNETRON A ŢINTELOR PREPARATE ÎN VAPORI HALOGENICIArticle